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勻膠機(jī)什么情況下需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清潔

更新日期:2021-04-15       點(diǎn)擊次數(shù):1286
  顧名思義,勻膠機(jī)是把膠均勻地涂在基片上的一種機(jī)器。方法很多,有滾涂,浸涂,噴涂,旋涂等,各有優(yōu)缺點(diǎn)。不同的應(yīng)用采取不同的涂膠方法。其中旋涂用得蕞多,那是因?yàn)樗苋〉棉└叩木鶆蛐裕前雽?dǎo)體微電子領(lǐng)域里光刻工藝的通用的方法。
  勻膠機(jī)主要關(guān)鍵元器件由美國(guó)進(jìn)口,整機(jī)裝配在國(guó)內(nèi)安裝調(diào)試完成。該機(jī)2002年已通過(guò)CE認(rèn)證,其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現(xiàn)為:當(dāng)該勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),它不影響同處一室的其他設(shè)備,以保證其他設(shè)備的正常使用(如指針不漂移等受干擾后有影響的反應(yīng));同時(shí)它本身也不會(huì)受到其他同處一室的設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的磁場(chǎng)的干擾,從而保證實(shí)驗(yàn)效果的穩(wěn)定性和可靠性。
  工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。可以設(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來(lái)存儲(chǔ)不同材料的制備過(guò)程,每個(gè)程序段都能設(shè)定51步速度改變,當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。
  勻膠機(jī)屬下列狀況之一時(shí),需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清潔:
  1. 正常使用三個(gè)月的;
  2. 膠被吸入抽氣室的;
  3. 電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。
  清潔的辦法是順次取下勻膠機(jī)片托,松開(kāi)光電盤(pán)上的緊固頂絲,取下光電盤(pán)、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧,用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗潔凈,再順次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤(pán)。旋緊緊固頂絲。
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