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勻膠機的旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù),你了解多少?

更新日期:2022-03-23       點擊次數(shù):1543
  勻膠機利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。主要用于材料浸入液體,膠體中經(jīng)提拉在表面形成薄膜,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,木材,金屬等所有固體材料表面涂覆工藝??稍诳蒲?,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
 
  勻膠機的旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù):
 
  旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機。它的原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
 
  從其原理來說,勻膠機有以下兩個特點。
 
  (1)旋轉(zhuǎn)速度
 
  轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。轉(zhuǎn)速控制方面有國際認定標準,如美國NIST標準等。
 
  (2)真空吸附系統(tǒng)
 
  真空泵一般采用無油泵,即通常說的干泵,因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制,當真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)。
 
  勻膠機的主要特點:
 
  1、計算機控制運行,運行參數(shù)記憶,一鍵復(fù)位,保障試驗過程可重復(fù)。
 
  2、實時數(shù)據(jù)顯示,方便觀察實驗現(xiàn)象。到位自動停機,聲音報告。
 
  3、高精度直線導(dǎo)軌控制運行軌跡,保障運行軌跡的精確直線性。
 
  4、2個工作位:可安放2個燒杯,內(nèi)盛不同粘度的膠體。
 
  5、每個工作位可夾持1個以上的“玻片”。
 
  6、工作效率更高。
 
  7、彈簧夾持“玻片”,結(jié)構(gòu)更簡單,操作更方便。
 
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