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選擇勻膠機需要考慮哪些因素?

更新日期:2022-05-17       點擊次數(shù):1241
  勻膠機的原理是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。
 
  選擇勻膠機需要考慮以下三個方面:
 
  1、旋轉速度
 
  轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤勻膠機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的大部分低端勻膠機只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。
 
  2、真空吸附系統(tǒng)的構造
 
  真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
 
  3、材質的選擇
 
  勻膠機對于半導體化工行業(yè)的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,國產(chǎn)的大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質。這兩種材質具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。
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